일반기술
이리듐 기반 수은 미세 전극 배열: 수양액 용액에서 중금속을 위한 센서
이 발명품은 수중에서 용해된 중금속 이온 해석을 위한 저비용, 고성능 마이크로 센서이다. 이 센서는 매우 희박한 이온 집중을 측정할 수 있는 “양극 스트리핑 볼트 측정” 이라 불리는 전기 화학적 기법으로서의 장점을 가지고 있으나 소형화하지 못하고 있었다. 종래의 큰 전극보다 미세한 이리듐 전극들이 실리콘 유리 또는 세라믹과 같은 기판상에 마이크로 리소그래피를 이용하여 제작하였다. 이 센서는 전기 화학적으로 발생하고 전기적으로 외부 접속으로 제작된 것을 제외하고 실리콘 탄화 또는 실리콘 질화와 같은 플라스마 증착 박막을 이용하여 절연하였다. 전극 위치에서 작은 수은 반구들은 전기 도금에 의해 형성되었다. 이 장치들은 매우 적은 비용으로 대량 생산할 수 있으며 처리할 수 있다.부가적인 전해질 없이 천연수 사용 가능, 저비용
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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