일반기술
Speedie 프로젝트(소프트웨어)
SPEEDIE는 LPCVD와 건식 에칭을 위해 새롭게 물리적으로 기반한 프로파일 시뮬레이터이다. 이 시뮬레이터는 이온들의 에너지 분포와 각을 계산하고 이온 차폐 수송을 위한 몬테카를로 시뮬레이터를 이용하여 중성들은 고속으로 계산한다. 프로파일 상의 각점에서의 자속들은 몬테카를로 시뮬레이터 또는 해석적인 방법으로 계산할 수 있는데 이는 분자 흐름에 의한 3차원 수송, 표면 확산과 흡수/재방사를 고려한 것이다. 에칭율들은 에치 모델의 선택을 이용하여 결정되며 한편 LPCVD는 sticking 계수 모델로 사용된다. 수정된 스트링 알고리즘은 에칭과 증착을 동시에 허용하며 표면 이동을 위해 사용한다.상세한 표면 운동학상의 데이터 부족에 의해 제한되는 것 없이 프로파일 진화에 영향을 미치는 핵심 현상 포획
기술정보
- 기술분류
- 정보 > 응용소프트웨어
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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