일반기술
원방계 광학 현미경을 가진 리소그래피를 위한 시스템
이 발명품은 적당한 수율을 가진 실리콘 웨이퍼 상에 0.1 미크론 특징을 생성할 수 있는 리소그래피 시스템이다. X선 리소그래피에 기반한 현재의 시스템은 대형이며 부피가 크고 비싸다. 이 발명품은 비용을 줄이며 소형이며 다른 시스템과 비교하여 효과적이다. 포토 레지스터 재료상에 패턴을 기록하기 위하여 평면 근접장 광학 현미경의 배열에 이 시스템을 사용한다.비용을 줄이며 소형이며 다른 시스템과 비교하여 효과적
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 계측기기
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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