일반기술
평면 근방계 광학과 힘 현미경
이 발명품은 현미경의 새로운 형태 속에 존재하는 다수의 부품으로 조합된다. 광학 현미경 결과는 원자력간 현미경으로부터의 기법을 이용하여 표면에 매우 근접한 평면 광학 도파관에 사용한다. 현미경 결과는 광파장의 조각 분해능에서 광에너지를 수송할 수 있으며 표준 기법을 이용하여 실리콘 웨이퍼 상에 완전하게 구성할 수 있다.광파장의 조각 분해능에서 광에너지를 수송할 수 있으며 표준 기법을 이용하여 실리콘 웨이퍼 상에 완전하게 구성
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 계측기기
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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