일반기술
반도체 웨이퍼상의 입자 검출을 위한 소자
이 발명품은 반도체 웨이퍼 상에 결함 검출을 위한 ARIM 탐침자의 거대 배열로 사용한다. 선폭 축소로서 결함 검출을 위한 새로운 접근은 필요하게 될 것이다. 이것은 결함 검출 시스템의 차세대 대표이다.선폭 축소로서 결함 검출을 위한 새로운 접근, 결함 검출 시스템의 차세대 대표
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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