일반기술
표면 마이크로머신 정전 초음파 공기 트랜스듀서
공기에서 초음파의 발생은 로봇 거리 감지와 영상 가스 흐름 측정 인사이튜 공정 감시 음향 현미경을 포함한 다양한 응용에서의 관심 사항이었다. 이 발명품은 절연 지원에 의한 기판상의 표면 위에 지지된 실리콘 질화막을 마이크로머시닝 트랜스듀서에 의한 반도체 기판상에 형성된 정전 트랜스듀서이다. 이 기판과 막은 트랜스듀서의 전극으로 정의된다.주파수 광대역의 공기에서 효율적인 초음파 수신과 생성
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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