일반기술 소형 틈을 형성하는 방법 5nm 이하의 폭과 조절 가능한 두께를 갖는 틈을 만드는 방법자료 없음 기술정보 기술분류 전기·전자 > 기타 반도체 보유기관 특허법인충정 기술유형 일반기술 등록일 2001-03-03 데이터 갱신일 정보 없음 상세설명 정보 없음 관련 특허 등록된 관련 특허가 없습니다.