일반기술
미세 기계성 측면 압력 저항력 센서
미세 기계성 외팔보의 새로운 구조이다, 이 구조는 수직 편향 감지를 위한 편평한 수평 압력 저항 광선과 수평 편향 감지를 위한 고면율(high-aspect-ratio) 압력 저항 인자("rib")로 구성된다외팔보 구조는 각 편향 양상의 측정 정밀도를 높이기 위해 독립적으로 측면 편향과 수직 편향을 측정한다, 이런 압력 저항기는 만들기 쉽다
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-03-03
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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