일반기술

고밀도 수직자기 기록매체용 코발트/팔라듐 다층막

취급해야하는 정보의 양이 기하급수적으로 증가함에 따라 정보저장매체의 고밀도화를 위해 수직자기기록 매체에 대한 연구가 현재 활발히 이루어지고 있는데 본 연구에서는 차세대 고밀도 수직자기 및 광자기 기록매체의 후보로 주목받고있는 코발트/팔라듐 다층박막에 대해 보자력 증대를 위한 실험을 수행하였다. 자기기록매체의 고밀도화 및 기록 자구의 안정성 확보를 위해서는 기록감도가 허용하는 한 보자력이 큰 것이 유리한데 코발트/팔라듐 다층박막의 경우 강한 수직자기이방성을 나타내기는 하나 상업화 측면에서 유리한 아르곤 스퍼터링법으로 제작하는 경우 다소 낮은 보자력(1~2 kOe)을 나타내는 것으로 알려져 있다. 본 연구에서는 다층막 증착 이전에 100 정도의 얇은 팔라듐 바닥층을 증착한 후 그 위에 다층막을 증착하였으며 바닥층 형성시의 스퍼터링 압력만을 변화시킴으로써 그 위에 증착되는 다층막의 보자력을 조절할 수 있음을 알아내었다.다층막의 증착압력을 12 mTorr 로 고정하고 바닥층의 증착압력을 6 mTorr 에서 25 mTorr 까지 증가시킴으로써 보자력을 1.2 kOe 에서 4.9 kOe 까지 큰 폭으로 증대시킬 수 있었으며 이는 증착압력의 증가에 따른 바닥층 표면의 거칠어짐(원자단위 수준에서의 거칠음) 그리고 이에 의한 다층막의 자화반전기구의 변화측면에서 해석할 수 있었다.