일반기술

반도체 건식 에칭 전극용 Glassy Carbon 제조기술

유리탄소섬유의 성질은 ① 고온에 견디며, 불에 타지 않는다. ② 흡수성이 없고, 흡습성이 적다. ③ 화학적 내구성이 있기 때문에 부식하지 않는다. ④ 강도, 특히 인장강도가 강하다. ⑤ 신장률이 적다. ⑥ 단열·방음성이 좋다. 등으로 크게 생각해 볼 수 있다. 최근 이와 같은 성질을 이용하여 각 방면의 공업재료로서 널리 사용되며, 항공기·보트 등의 구조재나 파이프, 속이 빈 기둥·낚싯대로 쓰인다. 또한 도체와 절연체의 중간적 성질을 이용하여, 반도체 기술에도 도입하고 있다.본 기술은 페놀, 퓨란 등의 열경화성 수지를 이용하여 적정 중축합, 탄소화 조건에서 고순도, 고탄성의 Glassy Carbon 제조기술로서, 중축합 반응 및 탄소화 조건의 제어에 의하여 다양한 형상의 Glassy Carbon을 제조할 수 있게 한다.본 기술에 의한 개발제품의 물성은 다음과 같다.. 밀도 : 1.5g/㎤. 결정구조 : 비정질. 꺽임강도 : 1000kg/㎠. 전기저항 : 4 x 10Ωcm본 기술을 활용할 수 있는 분야는 다양한 것으로 파악된다. 반도체 건식 에칭 전극용 Glassy Carbon (전량 수입에 의존하는 전극의 국산화 가능), 화학분석용 도가니, 비이커 등은 물론이고, Li 이온 전지용 음극재 분말, 분자체(zeolite계 대체가능)등에 쓰일 수 있다.