일반기술
간이전기 도금용장치
본 고안은 전기도금거리를 조절할 수 있고, 다양한 크기의 웨이퍼를 도금할 수 있는 간이전기 도금용 장치에 관한 것임실험실등에서 사용하기 간편하게 제작되어져 있다. 특히 선폭의 길이가 길고 선폭은 좁은광소자의 전극을 형성할때 유용하다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
- 보유기관
- 전자부품연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-09-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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