일반기술

웨이퍼와 프로브헤드의 접촉여부 검사장치

본 발명은 웨이퍼상태의 초고주파용 부품의 특성측정시 초고주파 프로브 헤드와 웨이퍼의 접촉여부를검사하기 위한 장치에 관한 것임. 본 발명은 웨이퍼상태의 초고주파용 부품의 특성 측정시 웨이퍼와 프로브헤드의 접촉 여부를 검사하기 위한 장치에 관한 것이다. 본 발명은 균일하게 분배된 제1기준신호와 제2기준신호를 이용하여, 제2기준신호가 웨이퍼에 인가되어 반사된 반사신호와 제1기준신호를 각각 신호처리한 후 비교하여 접촉여부확인신호를 표시수단에 인가하여 표시수단에 도시된 상태도에 따라 웨이퍼와 프로브헤드의 접촉 여부를 검사한다. 이로써 스펙트럼 분석기등의 고가의 장비를 사용하지 않고 간단한 장치로 구성을 하여 검사비용 및 시간을 줄이고 정확하게 접촉 여부를 검사하며 잘못된 접촉방법에 따른 고가의 초고주파 프로브헤드의 손상을 미연에 방지할 수 있는 웨이퍼와 프로브헤드의 접촉 여부 검사 장치를 제공한다검사장비가 간단하다.검사비용및시간을 절약한다.정확하다.