일반기술
광부품의 제조방법
본 발명은 광소자 제조공정개선을 통하여 동일기판상에 다수의 광전소자를 일괄 공정 처리(batch process) 를 가능토록 한 것임. 다수의 광도파로 소자를 일괄공정으로 형성한 후에 광도파로 소자의 측면 연마가 가능하도록 하여 광부품의 생산성을 높힐 수 있게하였다. 본 발명에 의하면, 광도파로 소자의 측면연마를 각종 박막 및 금속전극 형성 이후에 실시함으로써 광전소자의 제조공정을 단순화 해주며, 복잡한 광학정렬(optical alignment)에 소요되는 시간과 경비를 절감시켜 생산성 증대를 기할 수 있다다수의 광도파로 소자를 하나의 기판(wafer)을 이용하여 일괄공정으로 형성한 후에 광도파로 소자의 측면 연마를 실시함으로써 광부품의 생산성을 극대화 할 수 있게 하였다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 전자부품
- 보유기관
- 전자부품연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-09-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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