일반기술

초고온 전기로 제작기술

각종 파인세라믹스의 소성, 금속 및 비금속재료의 열처리 등에 널리 사용되고 있는 1800℃ 이상의 초고온 전기로의 발열체와 단열재는 고온 분위기에 따라 공기 또는 산화분위기로, 진공분위기로, 환원분위기로용으로 대별된다. 지금까지 Graphite 발열체와 단열재가 값싼 이점으로 많이 사용되고 있으나 질소나 알곤 분위기에서 소성 또는 열처리가 가능하지만 초고온의 산화 또는 진공분위기에서는 Graphite 발열체와 단열재가 C+O2→CO2로 사용할 수 없기 때문에 산화분위기로용으로 MoSi2와 Zirconia 발열체와 고순도 알루미나 Board 절연체를 사용하였고 환원분위기로에는 텅그스텐 발열체를 사용하였다.ㅇ 공기분위기 1800℃에서 상용가능하고 최고온도 1900℃까지 승온가능한 고온 전기로는 MoSi2 발열체를 사용하였고, 상용온도 1900℃, 최고온도 2000℃용 초고온 전기로는 Zirconia 발열체를 사용하여 제조하였다.ㅇ 고온진공분위기 전기로는 상용온도 2000℃, 최고온도 2200℃, 상온최대진공도 10-5torr로 Tungsten 발열체를 사용하여 제작하였다.ㅇ 환원분위기 고온소결 관상형 전기로는 상용온도 1850℃, 최고온도 1950℃에서 Dry H2 또는 Dissociated Ammonia Gas 분위기에서 사용할 수 있도록 제작하였다.