일반기술

연마기 광전기 검측 시스템

갈바니 처리한 연마 장치의 표면을 특성화 하기 위해, 첨단 광 검측 시스템이 개발되었다. 이 시스템을 이용함으로써, 연마 장치의 표면에 다이아몬드 또는 cBN 그레인이 접착 융기하는 것을 무접촉 방식으로 검측할 수 있다. 융기는 3차원 표면 특징인 “그레인 융기”와 “그레인 피크 분포”로 표현된다. 이들 두 가지 통계적 특징에 관한 상세한 정보는 생산 공정을 이상적으로 구성하고 갈바니 처리한 연마 장치의 사용에 매우 중요하다. 지금까지는 접착 융기에 대해 수작업으로 육안을 이용한 제한된 평가밖에는 할 수 없었다. 많은 생산자와 사용자간의 평가 결과에 대한 객관적 비교도 할 수 없었다. 이 광검측 시스템은 공초점(共焦點) 검측 이론을 기초로 하고 있다. 미세한 두께의 렌즈를 사용하여, 연마 장치 표면의 일부에 있는 일련의 이미지를 매트릭스 카메라로 잡아낸다. 이미지마다 대상물과 렌즈 사이의 거리가 단계적으로 변화한다. 그러므로, 정상적인 방향으로의(Z 방향) 표면 스캔이 가능하다. 포획된 각 이미지 시리즈의 선명하게 구획된 영역들이 결정되고, 그 다음 단계가 진행된 후에는 테스트 특징인 “그레인 융기”와 “그레인 피크 분포”가 계산된다. 검측과 평가 과정은 자동으로 수행된다. 표면 영역의 선택은 학습 기능으로 실현된다.주요한 경제적, 기술적 목표는 갈바니 처리한 연마 장치의 객관적이고 효과적인 표면 점검을 하기 위해 무접촉 방식의 검측 시스템을 개발하는 것이었다. 이 시스템을 이용하여, 제조 공정에서 제품의 제어를 위해 필수적인 사전 요건을 실현해야 한다.이 광검측 시스템을 이용하여, 이제 상이한 물성의 반사를 하는 거친 구조의 표면을 평가할 수 있게 되었다. 지형은 자동화된 검측 평가 공정을 통해 객관적으로 평가할 수 있다.