일반기술
극소전자공학을 위한 유기실리콘 화합물
인, 브롬, 안티몬, 실리콘 질화물 그리고, 실리콘 수산기질화물 원소와 결합된 실리콘산화물, 실리콘 이산화물의 얇은 유전층은 다음 화합물의 고주파 방전 플라즈마 실리콘 판 위에 놓여졌다. 헥사메틸디실록산이 실리콘산화층을 위해 헥사메틸디실라잔은 실리콘 질화물과 실리콘 수산기질화물층을 위해서, 트리(트리메틸실릴)인은 인규산염 유리층을 트리(트리메틸실릴)보레이트는 보로실리케이트 유리층을, 트리(트리메틸실릴)안티모나이트는 안티모나이트실리케이트 유리층을 준비하기 위하여 이용되었다.이런 화합물들은 실란, 포스포디보레인등과 같은 발화성이고, 유독하며 값비싼 화합물을 대체해야 한다. 극소전자공학에서 새로운 화합물의 응용은 공정안전과 생산물의 질을 증가시킬 수 있다..산업 규모로 출원
기술정보
- 기술분류
- 화학 > 기타 유기화학
- 보유기관
- 배재대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2002-03-30
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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