일반기술

판유리 표면상에 박막을 증착하기 위한 플랜트

최근 판유리의 열손실을 최소화하기위한 광학적 특성, 특히 특수 플라즈마 코팅에 의한 투명도 선택성의 조절이 선진국에서 광범위하게 이용되고 있다. 그러나 디자인, 생산, 기술적인 면에서의 의문점이 아직까지도 충분히 해결되지 못하고 있다. 톰스크대학 연구진이 재료의 광학적 특성을 조절하는 기술과 장치를 개발하였다.동시에, 박막, 코팅 속도, 광학적 특성, 막과 기판간의 부착등에 대한 분석이 동시에 병행되어. 산화물, 질화물, 산질화물 막을 얻는 거의 최적 코팅 모드와 증착법이 개발되었다. 분석에 의하면 마그네트론 스퍼터링 시스템은 제조가 용이하고 파워가 높기 때문에 이 목적에 아주 적합하다. 재료의 이온 플라즈마 공정이 폭넓은 범위에서 나타났다. 입자를 사용함에 있어서 공정을 제어하는 중요한 부분은 1000 eV를 넘지 않는 에너지이다. 주된 장점은 고에너지 입자를 이용한 조절 예를 들어 이온 주입시에 나타나는 엄청난 생산성을 가진 장비를 제공하는 능력을 가지고 있다는 것이다. 다른 유형의 저에너지원을 이용하는 기술적인 가능성에 대한 분석에 따르면, 희박기체 매질에서의 교차 전자기장을 가진 다이오드(보통 마그네트론이라 불림)가 전망이 매우 밝다는 것을 보여주고 있다. 일련의 설비는 판유리 위에 조절용 코팅을 석출시키기 위해 설계되었다. 설비는 다수의 유리 공장에서 성공적으로 작동되고 있으며 거울과 토너용 유리의 상업적인 생산이 가능한 정도의 상태를 보이고 있다.공업용 및 가정용 거울이나 , 판유리상에 토너용 코팅의 최적 분사 모드가 밝혀졌다. 유리 표면, 플라스틱, 세라믹 상에 금속, 산화물, 질화물, 산질화물 층을 만드는 원리가 구상되었다. 적외선 영역에서 반사계수가 90%까지 이르는 단단한 열절약 코팅을 얻는 윈리도 구상되었다.이 기술은 다음과 같이 이용할 수 있다.1.착색 판유리 생산 2.열 절약 유리 생산 3.산업용, 가정용 거울 생산 4.폴리머 필름 상에 광학 조절 코팅 5.유전체 표면에 도전성 코팅플랜트는 판유리 착색과 거울 제조를 위한 것이다. 그 구별되는 특징은 공간의 중앙에 수직으로 위치한 고정장치 시스템과 함께 공급된다는 것이다. “Amethyst” 플랜트와는 다르게 “Amethyst-3” 시스템은 두 개의 이동 평면 마그네트론이 있어서 플랜트의 성능이 향상되었다는 것이다.Technical parameters:공정 가능 최대 치수, m: 1.3´1.6 (2.08 m2)샘플 처리량, units: 2 (Amethyst), 4 (Amethyst-3)코팅…………………………………………….……비자성금속과 그 산화물, 질화물증착 속도 (stainless steel target), mm/s: 1.0×10-3성능: m2/hour:6 (Amethyst), 16 (Amethyst-3)최대 전력 소비량, kW:20 (Amethyst),22 (Amethyst-3)작업 표면 온도, °C: 30-100 "Jashma” 유니트는 기술개발이나 prototype 생산을 위해 개발된 마그네트론 스퍼터링 시스템 중 가장 최신형의 완벽한 것이다. 이것의 가장 중요한 특징은 다음과 같은 작업 효율을 제공한다는 것이다.•디스크 형 유동형 혹은 고정 연장형 마그네트론을 이용한 코팅•가스 이온 주입•이온 촉진 코팅