일반기술
질량유량계의 유량측정센서
질량유량계(Mass Flow Controller:MFC)의 유량측정센서-기존기술:단일관을 이용항 유량감지-개발기술:이중관을 이용한 유량감지이중관 방식을 이용항 유량측정 센서의 장점(기존의 단일관 방식에 비하여)- 센서부의 선형유량범위가 훨씬 더 넓다- 약 500 sccm까지는 유량측정센서부만으로 측정가능하다- Bypass부가 필요없다- 제작비용이 저렴하다- 신뢰성이 높다
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
- 보유기관
- 캐스캐이드
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2002-04-23
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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