일반기술
파이로 전기 집적 열 감지기(T-1.183)
CCD 신호 프로세스와 결합한 유기 파이로 전기 재료로 구성된 멀티 엘리먼트 열 감지기의 집적된 구조의 생산 기술 개발. 감지기의 얇은 열감지 필름은 실리콘 크리스탈 위에 Curved membrane을 얻은 형상으로 제작됨. NETD는 0.5K 이하임파이로전기 필름 응용 프로세스는 기본 IC 제작 공정에 적절히 이용 가능함. 100*100 마이크로제곱미터에 2*128의 요소(elements)
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
- 보유기관
- 티알씨코리아
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2002-04-30
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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