일반기술

초소형 마이크로 액츄에이터

1. 초소형 마이크로 로봇 및 그 구동방법2. 하드디스크 드라이브의 헤드구동용 정전방식 미소작동기(제어전압이 인가될 수 있도록 상기 고정자가 분리 설계되고, 상기 이동자는 중앙축 고정 또는 양축 고정으로 이동,선형화 기법을 적용할 수 있는 정전방식구조를 가지므로서 선형적인 제어가 가능한 효과)3. 고집적 초소형 하드디스크 드라이브의 정밀 위치 제어를 위한 포지셔너에 사용되는 정전방식 마이크로 액츄에이터의 정전력을 증가시키도록 핑거의 형상을 변경하여 구동전압을 낮출 수 있는 정전방식 마이크로 액츄에이터4. 비선형성을 감소시키기위해 선형화 기법을 적용할 수 있는 구조를 가지되. 헤드설치기판의 다점지지에 따라 편심운동을 제거할 수 있는 정전방식 미소 작동기5.하드디스크드라이브용 헤드/슬라이더 조립체(트랙 추종용 마이크로 액츄에이터를 집적시켜초고밀도 hdd시스템에 적용가능한 헤드/슬라이더 조립체 및 그 제조방법)1. 초소형 마이크로 로봇은 전체구조를 mems 공정으로 제작함으로서 전체의 크기를 불과 수백um이하로 제작 가능하고 빗살형 일렉트로스테틱 마이크로 액츄에이터를 미소 구동기로 채용함에 의해 정밀 제어 구동(혈관내 의료작업, 초소형 기기내부 검사등과 같이 극히 협소한 장소에서 각종 작업을 수행)2. 비선형성 저감 하드 디스크 드라이브의 헤드 구동용 정전방식 미소 작동기는 고정자에 제어전압이 인가될 수 있도록 분리 설계되고, 이동자가 중앙축 고정 또는 양축 고정으로 이동되는 선형화 기법을 적용할 수 있는 구조를 가지므로서 선형적인 제어가 가능3. 정전방식 마이크로 액츄에이터에 의하면 핑거의 선단의 형상을 변형하되 오버랩 없이 소정거리 떨어뜨려 놓으므로써 현재 사용되고 있는 반도체 제조공정을 이용하면서도 큰 정전력을 발생시켜 구동전압을 낮출 수 있는 하드디스크 드라이버의 헤드, 마이크로 포지셔너등에서 극히 정밀한 위치제어4. 비선형성 저감 하드디스크 드라이브의 헤드 구동용 정전 방식 미소 작동기는 고정자가 제어전압이 인가될 수 있도록 분리 설계되어 비선형성을 감소시키기 위해 선형화 기법을 적용할 수 있는 구조를 가짐과 동시에 헤드 설치기판의 다점지지에 따라 이동자의 좌우측 이동과 중앙의 이동이 서로 반대의 방향성을 가지므로 전체적으로 양자의 힘의 차이만큼 힘이 발생하게되어 편심이 방지5. 트랙추종용 슬라이더에 미세 구동기 및 자기헤드를 결합하는 공정기술을 제공할 수 있으며 또한 미세 구동기를 불순물의 침입으로부터 보호하기 위한 패키징 기술을 제공