일반기술

Scarificial 금속층과 다단 Deep X-레이 리소그래피를 이용한 미세구조형성

실질적인 임의의 삼차원 모양을 생산할 수 있는 다중 마스크 토울을 이용한 초소형 차원으로 복잡한 금속구조가 형성된다. 첫째금속의 첫 번째 층은 포토레지스트에 빈자리를 채우기 위한 노출된 도금판의 기초위에 전기도금 된다. 이 포토레지스트는 제거되고 두 번째 금속은 sacrificial 금속을 이루는데 첫 번째 층과 도금판 기초위에 전기 도금된다. 적층된 두 번째 금속의 노출면은 실질적으로 프라이머리와 세컨드리 금속 양쪽에 교차하여 연장된 평평하고 균일한 표면을 생산하기 위해 첫 번째 금속에 노출된 높이에 그 다음 기계에 걸린다. 프라이머리 금속에 세컨드리 금속에 의해서 제공된 역학적 안정성 때문에 프라이머리와 세컨드리 금속의 기계가공을 세컨드리 금속이 용이하게 하다. 프라이머리와 세컨드리 금속의 첫 번째 층이 가공되고 난 다음에 다른 포토레지스층이 프라이머리와 세컨드리 금속위에 적용되고 프라이머리 금속의 두 번째층은 전기 도금된다. 세컨드리 금속의 그이상의 층은 원하면 더 전기도금 될 수 있다. 원하는 구조가 형성될 때까지 전기도금과 가공의 과정이 되풀이된다. 세컨드리 금속은 프라이머리 금속을 에칭하지 않는 etchant에 의해 제거된다.완전히 또는 부분적으로 접착된 완전한 자유 금속 구조의 제조가 가능하다.거의 임의의 삼차원구조를 제조할 수 있다.할로우 튜브나 브리지 같은 복잡한 구조를 포함해서 금속을 이루는 초소형의 구조를 형성하는데 유용하고 수력이나 공기력적인 최소 디바이스에도 유용하다.