일반기술

X-레이 리소그래피 빔라인 법과 기구

X-레이 리소그래피 빔라인 기구는 포토리소크래피에서 미세 구조 스케일을 위해 X-레이를 유도하는 수단이다. 일정한 power distribution이 필수인 그런 작업의 섬세함은 산업에 있어서 X-레이 리소그래피의 실제적인 적용에 있어서 약점이다. 빔라인 기구는 -레이 소스로서 싱크로트론과 X-레이를 모으고 초점을 맞추는 두 개의 거울과 높고 낮은 X-레이의 에너지를 통제하기 위한 몇 개의 필터로 이루어져 있다. X-레이 리소그래피는 실리콘웨이퍼와 마이크로 전자공학의 전기회로의 제조업을 위해 보다 더 섬세한 도구를 제공한다.싱크로트론은 원하는 방사선의 어떤 주파수라도 맞출 수 있다.모듈의 광시스템은 사용자 환경으로 조절가능하고 2x1 면적의 타겟을 쓸 수 있다.각각의 요소가 진공의 체임버에 있으므로 모듈의 광 시스템이 더 쉽게 유지된다.평행광을 만드는 거울에 X-레이 각도을 조정하는 필터는 X-레이 리소그래피에서 일정한 power를 제공하는데 도움이 된다.