일반기술
균질의 증착을 위한 (PE)CVD 챔버의 특성 분석및 개선
웨이퍼의 대구경화에 따른processing chamber의 개선이나 새로운 개념의 장비를 개발하는데 있어 비용 절감과 개발 장비의 성능 극대화챔버의 설계 잔계에서 장비의 성능을 예측 및 분석하여 설계 제작비의 절감 및 최적의 성능 도출 가능
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- (재)충남테크노파크
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2002-05-20
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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