일반기술

마이크로머신 변형(strain) 센서

이 기술은 마이크로머신 스트레인(strain, 변형)센서에 관한 것이다. 스트레인센서는 물질특성과 공정 모니터링을 포함해서 다양한 목적으로 사용되는 MEMS(microelectromechanical)과 마이크로일렉트로닉스 시스템에 사용된다. 구조물의 작은 변화는 심각하게 마이크로기계 장치의 운전성능에 영향을 끼치기 때문에 잔류변형(residual strain)을 측정하는 것이 꼭 필요하다. 많은 마이크로기계의 변형센서는 잔류변형을 모니터하기에 적합하게 발전해 왔다. 그러나 현재의 기술은 몇가지 점에서 부족하다. 예를 들어 현재 사용되는 센서는 큰 부피의 생산에 부적합하고 후-패키징(post-packaging) 또는 후-배치(post-deployment) 해독에도 쓸모가 없고 낮은 해상도, 낮은 정확도, 작은 동적인 변화를 가져온다. 이 기술은 다른 마이크로기계장치와 마이크로일렉트로닉 장치와 이러한 장치와 팩키지의 잔류 변형을 모니터링 하기 위해 합체될 수 있는 스트레인 센서이다.이 장치는 편리하고 경제적으로 마이크로기계적인 구조의 요소들속에 잔류변형을 모니터링하는 수단이 된다.잔류변형은 구성요소의 수명이 다할 때 까지 감시할 수 있다.이 기술은 종래의 평이한 마이크로기계 가공과 호환된다.인장 변형율 뿐만 아니라 압축변형의 측정에도 사용된다.너무 많은 면적을 낭비없이 웨이퍼의 모든 주형(die)위에 포함될 만큼 충분히 작다.제조과정에 있어서 더 복잡하게 만들지 않는다.이 장치는 고감도 고정밀도와 광범위성을 가진다.해독은 단순하고 빠르고 자동화하기가 쉽다.다이분할 전에 패키징 이후 심지어 배치 이후에도 측정가능하다.