일반기술
다이아몬드 고온필라멘트 화학증착법
본 기술은 공급원료로 선혼합물인 메탄올계 액체용액을 사용하는 다이아몬드 결정과 다이아몬드 필름 합성에 증기를 분리하기 위해 압축가스나 전기 방전이 필요하지 않다. 기판을 향해 정렬된 라디칼을 생성시키기 위해서 메탄올을 적정량의 에탄올과 이소프로파놀 혹은 아세톤과 섞어서 고온의 텅스텐 필라멘트를 통과시킨다. 이때 다이아몬드 결정과 다이아몬드 필름은 1기압이하, 약 1000도에서 기판위에 증착할수 있다.다이아몬드 결정과 다이아몬드 필름을 합성하는 새롭고 개선된 방법을 제공한다.압축 가스가 필요없이 좋은 특성의 다이아몬드를 합성할수 있다.필요한 조합을 얻기 위해서 가스나 증기의 정확하고 반복적인 흐름을 위해 정밀한 전기흐름의 제어가 필요하지 않다.hot-filament 방법을 사용하는 다이아몬드를 합성법은 플라즈마나 연소불꽃없이 대량생산을 할수 있다. 경제적이고 안전하게 넓은 다이아몬드필름을 증착할수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 금속재료
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2002-05-23
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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