일반기술

다이아몬드 플라스마 화학증착법

이 발명은 공급원료로서 선혼합물인 메탄올계 액체용액을 사용하는 다이아몬드 결정과 다이아몬드 필름 합성에 vapor를 분리하기 위해 압축가스가 필요하지 않다. 메탄올이 에탄올과이소프로파놀 그리고 아세톤같은 화합물과 섞이고 OH, O, H 와 기판쪽으로 향한 라디칼을 포함함 카본등을 생성하기위해 마이크로웨이브 플라즈마같은 전기방전구역을 통과시킨다. OH, O, H 라디칼들은 선택적으로 에칭되거나 억제된다. 다이아몬드는 라디칼이 포함된 카본에 의해 기판위에 착상된다.다이아몬드 결정과 다이아몬드 필름을 합성하는 새롭고 개선된 방법압축가스나 물없이 좋은 성질의 다이아몬드를 합성한다. 필요한 조합을 얻기 위해서 가스나 증기의 정확하고 반복적인 흐름을 위해 정밀한 전기흐름의 제어가 필요하지 않다.ethanol-based 용액을 사용한 다이아몬드 증착에 필요한 라디칼을 생산하는 전기 방전법을 이용하는 개선된 다이아몬드 합성법을 제공한다. 높은 수율로 다이아몬드 필름을 증착하는 경제적이고 안전한 방법을 제공합니다.