일반기술

마이크로기계 cantilever 압력 변환기

음향(acoustic) 압력 변환기는 마이크로폰이나 마이크로스피커의 기능을 할 수 있다. 특별히 마이크로폰은 압력이 주위를 에워싸는 것보다 더 낮은 수십 자릿수 정도의 공기중의 음압을 탐지할 수 있도록 진동판(diaphragm)이 상당히 민감해야 한다. 마이크로기계의 압력 센서는 압전(piezoelectric)소자와 함께 매우 얇은 치수의 보이지 않는 압력에 민감하고 두께의 세밀한 조절이 부족한 진동판을 처음부터 가지고 있다. 이 기술에서는 마이크로폰과 마이크로스피커의 두가지 기능을 다하는 마이크로기계 cantilever 압력 변환기의 개발을 말하고 있는데 이 디바이스는 평평한 박막 멀티레이어와 polymeric cantilever의 생산 방법에 의해서 만들어진다. cantilever 진동판은 텐션(tensioned) 진동판보다 더 민감하다. cantilever를 사용하면 마이크로폰의 민감도와 마이크로스피커의 출력세기가 증가한다.배치(batch)처리를 통한 저 비용실현on-chip 회로와 집적가능초소형화 가능