일반기술

고온초전도 마이크로파 필터를 이용한 통신용 공용기 개발(Ⅰ)

1) 고온초전도 에피택셜 단층(다층)박막의 성장 및 물성분석: - 펄스-레이저 증착법에 의한 고온초전도 YBCO/MgO 에피택셜 박막의 성장(강한 c- 축배향의 에피택셜 박막이며, 20mm X 20mm까지 균일한 박막을 성장함). - 마이크로파 특성이 우수한 접지평면용 이중 금속박막(Ti/Ag)의 증착. 2) 고온초전도 마이크로파 소자의 최적설계 및 구현: - 오픈-스터브선 방식의 고온초전도 다극(3-극, 5-극, 7-극 및 9-극) 저역통과필터의 제조. - 평행결합선 방식의 고온초전도 다극(2-극, 4-극, 6-극) 대역통과필터 제조. 3) 고온초전도 마이크로파 필터의 저온 마이크로파 특정시스템의 구축과 응답특성측정. - 3-성분 시험치구의 설계 및 제작, 저온 마이크로파 측정시스템(HP-8510 + LTS-II) 의 구축(∼50GHz). - 고온초전도 저역통과필터: 삽입손실(1dB이내)/ 고온초전도 대역통과필터: 삽입손실 (0.5dB이내). 극수의 증가에 따라, 저지대역의 스커트 특성이 더욱 가파르게 됨. 4) 고온초전도 마이크로파 소자제조용 각종 장비(실험실용)의 설계/제작. - 고속스핀코터, 접촉정렬기, 베이커, 펄스-레이저 증착용 성장챔버 등.