일반기술

마이크로머시닝 기술을 이용한초소형 yaw rate sensor

기존 yaw rate sensor는 기계적인 회전형 yaw rate sensor와 이를 개선한 fiber optic gyroscope가 주로 사용되어 왔는데 이들은 대략 수천에서 수백 ＄에 이르는 고가이고 부피가 크다는 제약으로 인해 항공기, 우주선, 선박 등의 제한된 용도에만 사용되었기 때문에 반도체 가공기술을 응용한 마이크로머시닝 기술을 사용하여 저렴한 생산원가로 기존의 기계적 또는 광학적 yaw rate sensor에 비해 성능면에서 뒤지지 않는 반도체형 초소형 yaw rate sensor를 개발하는 연구를 진행하고 있다. 이를 위해 현재 다결정 실리콘 재료를 사용하여 표면 마이크로머시닝 기술로 가공하는 yaw rate sensor를 설계하여 제작하고 있다. 이러한 초소형 yaw rate sensor는 GPS(Global Positioning System)의 보조 시스템으로 사용되어 자동차의 무인주행과 자동주행 시스템에 사용될 수 있으며 자세제어 시스템에도 응용될 수 있다. 또한, 가전에서는 video camera의 손떨림 방지 장치와 computer의 3D mouse, 그리고 TV의 remote control에 응용되기도 하며 산업분야에서는 이동체의 안테나 자세제어, 로봇과 무인 운반차량의 자세제어 등의 응용이 있다. 그리고 의료분야에서 진동검진과 신체마비 환자들을 위한 보조기구, 수술용 기구의 정밀제어와 휠체어의 자세제어 등에 이용될 수 있다. 1990년 160만개 정도의 수요가 발생하여 900만불의 시장을 형성한 yaw rate sensor는 이후 연평균 13%의 성장을 지속하여 1994년 현재 266만개, 1500만＄의 시장으로 발전하였다. 현재 진행중인 초소형 yaw rate sensor 개발에 관한 연구가 최종적으로 완료될 경우 대략 20∼30＄ 정도의 가격을 갖는 yaw rate sensor의 제작이 가능해져 높은 성장률을 나타내고 있는 yaw rate sensor 시장에서 우위를 선점할 수 있을 것이다.