일반기술

AFM conventional tip의 calibration에서 카본나노튜브의 사용

나노 스케일 측정장치는 전자 현미경과 SPMs를 포함해서 공간 해상도가 10nm 이하의 측정을 가능하게 한다. 작은 차이를 분해하는 능력은 이 디바이스가 아주 정밀하다는 뜻이다. 나노 스케일 측정장치는 물체를 대조할 때, 물체 모양의 차이가 나노미터나 옹스트롬 정도의 차이가 있을 때 측정이 가능하다. 이러한 정밀성은 절대조건에서 측정이 바르게 되어야만 하는 것이다. 이 기술은 나노 스케일의 측정을 위한 소자의 calibration을 위한 표준과 방법, 시스템에 관한 것이다. 이 기술의 측정기준은 카본 나노튜브로 이루어져 있고 기술의 방식은 나노 스케일의 측정 디바이스를 사용하는 카본나노튜브 스캐닝 방식이다. 카본나노튜브 측정기준폭은 높은 정밀성을 가지고 있는 것으로 알려져 있다. 이 기술은 나노 스케일의 측정에 영향을 미치는 시스템상의 오차에도 calibration이 가능하고 폭넓게 다양한 나노 스케일 측정 장치에도 사용이 가능하다. 이 기술은 선폭, 선길이, 틈새치수를 정확하게 calibration하고 스캐닝 프로브 마이크로 팁(scanning probe microscope tips)과 전자 현미경의 빔의 특성을 정확히 나타낼 수 있다.카본나노튜브가 기판과 붙어있는 곳에서 그 둘사이의 나노스케일의 측정기준을 준다.카본나노튜브가 Calibration 스캔하기에 적당하게 위치를 보장하기 위해서 기준원(reference standard)을 제공한다.