일반기술

catalyst islands를 이용한 카본나노튜브구조 생성

이 기술은 실리콘이나 alumina 또는 석영의 기판위와 원자 현미경의 cantilever의 끝에 배치된 catalyst islands를 사용한 나노튜브 구조이다. catalyst islands는 탄소가 들어있는 가스(예를 들어 메탄)로부터 카본나노튜브의 성장을 촉진시키는 촉매역할을 한다. 이 기술은 island에서부터 늘어나는 카본 나노튜브와 함께 기판위에 배치된 촉매 물질(Fe.sub.2 O.sub.3)도 포함한다. 또한 이 기술은 전기적으로 연결된 island 사이에 연장되는 한쌍의 island도 포함한다. 전도성 금속 라인들이 island에 몇 미크론 정도의 측면으로 연결되어 있어 외부의 전기회로가 나노튜브에 연결되게 한다. 이러한 구조는 많은 다른 전기장치나 MEMs 디바이스에 사용할수 있다. 예를 들어 나노튜브 밑에 기판이 에칭이 되었다면 두 개의 island사이에 연결된 나노튜브는 공진기로서 기능할 수 있다. 또한 이 기술은 AFM cantilever의 끝 부분에 있는 촉매 입자와 나노튜브가 입자에서 늘어나게 하는것도 포함한다. 나노튜브는 기술에서 알고 있다시피 AFM의 스캐닝 팁으로 사용할 수 있다.개개의 다른 하나의 벽으로 둘러싸인 single-walled 나노튜브를 큰 스케일로 통합할 수 있다.나노튜브를 쉽게 어드레싱하게 하고 기능적인 현미경 장치가 될 수 있는 집적된 구조로 만들기 위해 나노튜브의 성장이 원하는 위치에서 일어나게 억제한다.다양한 나노튜브 디바이스를 얻기 위해 반도체 마이크로수조로 나노튜브를 집적한다.나노튜브의 팁이 있는 제조하기 쉬운 원자 현미경을 제공한다.