일반기술

GHz 범위의 고주파수 공명기

최근에 오실레이터와 필터로서 MEM(microelectromechanical)공명기는 고주파수, 고품질요인그리고 단순한 구조와 잘 알려진 제조공정 때문에 이에 대한 응용이 증가하고 있다. 이 기술은 새롭고 더 높은 등급의 고리모양(annual)의 구조를 사용하는 고주파 공진기 클래스의 개발에 관한 것이다. 이 기술에서 저온의 환경이 필요한 출력 신호 또는 윤곽(contour)-모드 디스크 공진기를 감시하는 다른 마이크론 이하의 폭과 고주파 공진기와 비교하면 더 큰 발동작용(actuation)을 하고 높은 공진 주파수를 일으키는 유일한 구동모드와 함께 지역을 감지한다. 물론 제조법 역시 foundry-compatible 하다.표면 마이크로기계 가공 기술에 의해 만들어진다.foundry-compatible한 제조방법 다른 마이크론 이하의 폭과 고주파 공진기와 비교하면 더 큰 발동작용(actuation)을 하고 높은 공진 주파수를 일으키는 유일한 구동모드와 함께 지역을 감지한다