일반기술

표면탄성파 필터

본 발명의 표면 탄성파 필터는 전기적인 신호를 기계적인 표면 탄성파로 변환시키며 표면 탄성파를전기적인 신호로 변환시키는 압전 단결정 기판과, 압전 단결정 기판의 일 부분에 형성되어 압전 단결정 기판에 전기적인 신호를 전달하는 입력 변환기와, 압전 단결정 기판의 다른 부분에 형성되어 압전 단결정 기판에서 변환된 전기적인 신호를 외부로 전달하는 출력 변환기와, 압전 단결정 기판위와입력및 출력 변환기의 일부를 노출하도록 입력및 출력 변환기 위에 형성되어 표면 탄성파의 속도를 높이는 다이아몬드성 탄소박막 또는 다이아몬드 박막으로 이루어진다. 이와 같은 표면 탄성파 필터는 단결정 기판의 표면탄성파 속도를 향상시킬 수 있으므로 높은 주파수 대역에서 사용할 수 있으며, 패키지에 실장시키지 않고 바로 인쇄회로 기판상에 실장할 수 있어 이동 통신용 단말기의 소형화에 기여할 수 있다.다이아몬드성 탄소박막을 이용하여 표면탄성파의 속도를 향상시켜 고주파 영역에서 사용할 수있는 SAW 필터를 개발할 수 있다.