일반기술
차동 용량형 압력센서 및 그 제조방법
본 발명은 차동 용량형 압력센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 이 센서의 구조는 반도체 기판 상부면에 각각 소정 거리 이격되어 형성된 외측전극, 제 1하부전극 및 제 2하부전극과, 외측전극 및 제 1하부전극의 일측에 각각 수직으로 연결된 기둥과, 외부전극의 기둥에 연결되며 제 1하부전극과 평행으로 배치된 제 1상부전극, 제 1하부전극의 기둥에 연결되며 제 2하부전극과 평행으로 배치된 제 2상부전극을 포함한다. 그러므로, 본 발명은 두 개- MEMS 실리콘 압력센서, 완전 차동 용량형 임.- 온도특성 및 선형성이 뛰어난 차동 용량형 압력센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 단일 희생층을 이용하여 실리콘 상부표면에 두 개의 센서 콘덴서를 형성함으로써 용량 offset을 줄이고 제작공정을 간단하게 한다. 그리고 압력에 따른 두 콘덴서의 변화가 반대방향이므로 2배의 감도 및 선형구간을 증가시킨다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 전자부품연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2002-06-14
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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