일반기술

진공센서

마그네틱 스텐레스 스틸을 이용한 비접촉성 진공센서용접을 통해 고진공을 유지한 상태에서 비접촉방식으로 진공 측정가능

기술정보

기술분류: 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
보유기관: 한국과학기술연구원
기술유형: 일반기술
등록일: 2002-06-21
데이터 갱신일: 정보 없음

상세설명

정보 없음

관련 특허

등록된 관련 특허가 없습니다.