일반기술
투과성 폴리실리콘 박막 필터
본 기술은 조도 (Surface roughness)가 막 두께와 거의 동일한 폴리크리스탈 실리콘 (polycrystalline silicon)으로 구성된 박막 필터의 제작법에 관한 것이다. 제작과정에서 형성되는 구멍의 크기는 측면치수가 실리콘 알갱이 보다 더 작으며, 대체로 10 nm에서 50 nm 범위 안에 든다.- 일반적인 박막증착기술을 이용하여 제작 가능.- 필터 막은 간단하고, 더욱 경제적으로 생산됨.- 막공의 지름은 10 nm에서 50 nm 범위임.
기술정보
- 기술분류
- 보건·의료 > 기타 의료공학
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2002-07-03
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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