일반기술
레이저 간섭기를 이용한 복수좌표전동
레이저 간섭기로 정확하게 나노메터 수준의 거리 차이가 나는 위치들을 포지셔닝 하는 기술위치의 정확도와 조절의 신속성이 기존제품보다 향상된 시스템
기술정보
- 기술분류
- 보건·의료 > 기타 의료정보학
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2002-07-04
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.
일반기술
레이저 간섭기로 정확하게 나노메터 수준의 거리 차이가 나는 위치들을 포지셔닝 하는 기술위치의 정확도와 조절의 신속성이 기존제품보다 향상된 시스템
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