일반기술

반도체 공정에서의 이탈 처리 자동 분석 시스템

'90 년대 후반기에 들어서 세계 반도체 시장은 급격한 변화를 겪고 있다. 기존 업체의 대규모 설비 증설과 신규 업체들의 연이은 시장 진입에 의한 DRAM의 공급 과잉으로 더욱 치열한 가격 경쟁을 벌이게 되는 등 위기 의식이 고조되고 있는 현실이다. 이에 따라 반도체 디바이스의 회로 패턴은 미세화, 고집적화가 그리고 생산 현장에 있어서는 보다 높은 생산 수율이 요구되고 있다. 현재 약 440 여개에 이르는 단위 공정을 갖는 16메가 DRAM은 각 생산 공정이 끝나는 즉시 계측 공정을 통하여 엄격한 품질 관리를 실시한다. 이러한 품질관리를 통하여 불량률을 낮추고 높은 수율을 목표로 한다. 현재 반도체 산업현장에서는 이탈이 발생하였을 경우 숙련된 엔지니어의 판단에 전적으로 의존하고 있다. 그러나 현재 우리나라 반도체 생산현장에서 숙련된 엔지니어의 수는 극히 부족한 상태이므로 이들에 의한 이탈처리에는 많은 어려움이 존재한다. 특히 이들의 부재시, 혹은 아직 숙련되지 않은 엔지니어가 이탈처리를 관리할 경우 많은 판단착오를 일으키기 쉽다. 그러므로 이를 방지하기 위하여 전문가 시스템의 도입이 필수적이다. 즉 숙련 엔지니어의 지식을 지식 베이스(Knowledge Base)화하고 이를 바탕으로 Rule을 구성한 후 추론엔진을 구축하면 숙련 엔지니어에 대한 의존도가 낮아지고 이탈처리 관리가 매우 수월하게 된다. 따라서 본 연구에서는 숙련 엔지니어의 지식을 최대한 도출하여 지식 베이스를 구축하고 최적의 Rule을 구성하여 추론 결과가 최대한 숙련 엔지니어의 판단에 근접하는 것을 목표로 한다. 이를 통하여 빠른 이탈처리, 엔지니어의 판단착오 방지, 미숙련 엔지니어의 이탈처리 관리 등의 효과를 얻고 궁극적으로는 높은 수율을 얻고자 한다.