일반기술

단일 실리콘 웨이퍼로 제조된 새로운 전기용량 가속도계

이 기술은 제조하기 쉬운 새로운 마이크로가속도계에 관한 것이다. 특별히 이것은 단일 실리콘웨이퍼 고정밀 Z축 전기용량 마이크로 가속도계이다. 이러한 새로운 고정밀 가속도계는 운항법이나 항공기 유도, 극미중력측정, 지질학에서의 진동측정 그리고 GPS용 항법등에 쓰인다. 종래의 소형 가속도계는 일반적으로 표면마이크로 가공또는 벌크(bulk) 마이크로가공에 의해 제조가 되었다. 그러나 이러한 장치들은 낮은 민감도와 높은 노이즈가 생겨났고 그 결과 이것들은 정밀함이 필요한 곳에 응용이 되기에는 부족했다. 벌크 가공된 가속도계는 다층 웨이퍼로부터 만들어진다. 두껍게 붙여진 웨이퍼안에 댐핑 홀을 만드는 것은 어려운 공정이기 때문에 특정한 주위압력에서 특별한 팩키징이 댐핑요소를 제어하기 위해 전통적으로 필요하다. 결과적인 생산물은 높은 온도민감성과 큰 확산력을 가지게 된다. 게다가 전체 다중웨이퍼의 결합공정은 복잡하고 낮은 수율과 높은 비용을 갖는다. . 양면에 제작하는 것보다. 한쪽면의 웨이퍼에 제작하면 디바이스는 더 제조하기가 쉽고 다른 전기용량 마이크로가속도계와 비교해서 낮은 노이즈와 큰 민감도를 가지게 된다. 그리고 경제적으로 비용이 적게 들게 된다. 이 마이크로가속도계의 설계에서 고정밀 micro-g 전기용량 가속도계에서 발견되는 어려움을 극복하는 딱딱한 박막 센스와 피드백 전극을 병합했다. 실험결과 100 pico-Farads per g 정도의 전기용량 민감도를 가짐을 확인했다. 그러나 상용화를 생각지 않고 더 높은 정밀도를 원한다면 이와 비슷한 기술이 있어 이를 이용하면 2pF/g정도의 정밀도를 얻을수 있다.고 민감성낮은 노이즈진공팩키징이 필요없다.생산공정이 간단하고 높은 수율과 저가의 생산비를 가진다.댐핑이 조절가능하다.낮은 온도민감성과 긴 시간동안의 안정성을 가진다.