일반기술
효율적인 초단파 펄스 고변환법
이 기술은 스펙트럼속의 자외선, 진공자외선 그리고 X-ray 영역안에서 초단파 간섭광을 발생하는 새로운 시스템에 관한 것이다. 이 기술은 화학재료 반응역학의 기초연구와 x-ray 홀로그래피, 단파장 리소그래피와 초자외선 리소그래피를 위한 x-ray 광학특성 파악에 사용된다. 종래의 레이저는 가시광과 적외선에 가까운 빛을 방출한다. 또한 펄스 지속시간은 10fs 정도로 짧다. 이 레이저 광은 심한 자외선과 소프트한 x-ray 빛으로 변환이 된다. 그러나 현재까지 알려진 기술들은 그리 효율적이지 못했다. 엑시머 레이저는 굉장히 파워풀하나 밴드 폭이 150fs보다 크고 튜닝시킬 수가 없다. 펄스 지속시간 안에 가장 짧은 파장의 엑시머 레이저는 KrF 레이저로서 193nm 이다. 싱크로트론 x-ray 소스는 더 긴 펄스 폭(70ps)을 가지고 있고 큰 스케일에다 비싼 장비이다. 그러나 이 새로운 기술은 비선형 매체로서 가스를 사용하고 효율성 있게 위상 정합 주파수 변환을 위한 도파로의 분산특성이 원인이 되어 위에서 말한 방법의 한계를 극복하였다. 이 기술은 간단히 튜닝가능한 라이트 펄스를 가시영역에서부터 deep- , vacuum-UV, soft-x-ray 영역까지를 통하여 발생시킬수 있고 적외선과 마이크로파까지 발생시킬수 있다.초단파펄스의 주파수 변환에 적당하다.(<200fs)튜닝이 가능하고 효율적인 단파발생이 가능하다.(특히 자외선)싱크로트론과 비교해서 저 비용이고 튼튼하고 컴팩트하다.위상정합 밴트폭이 크다.낮은 매체의 밀도가 군속도 walk-off를 무시할수 있게 만든다.출력모드가 가우시안 프로파일과 동일하다.더 짧은 파장과 더 높은 효율로 확장가능하다.
기술정보
- 기술분류
- 물리학 > 레이저 광학(R12)
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-01-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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