일반기술

초 고민감성 소형 압력센서

이기술은 집적된 모놀리식(monolithic)BiCMOS 압력센서이다. 이 센서는 매우 민감하고 MEMs 소자에 유용하다. 그리고 분산감지시스템에 통합될 수 있다. 정확한 대기 측정 및 대기보다 낮은 압력 레벨의 측정에 대한 필요성은 많은 애플리케이션에 있어서 중요하다. 이런 것들중에 하나는 자동차를 위한 것인데 이는 흡입 다기관안에 변동하는 압력레벨을 빠르게 측정하기 위해서 필요하다. 이러한 압력을 신뢰성있게 측정하고 적당한 응답시간을 가지는 센서는 생산하기가 어렵고 굉장히 비싸다. 압전저항형 센서가 대부분의 산업의 응용에 사용되는데 그이유는 낮은 생산단가와 신뢰성 때문이다. 그러나 이것들은 높은 파워가 필요하고 낮은 민감도가 문제이다. 용량형 압력 소자는 높은 민감성과 필요한 파워가 낮은반면에 광범위한 사용에 있어서는 높은 가격과 저 신뢰성 그리고 환경적인 문제 때문에 그 사용에 있어서 한계가 있었다. 여기에서 말하는 새로운 센서는 이러한 전통적인 한계를 극복하고 용량형의 기술을 그대로 유지한 것을 말한다. 이 센서는 15b의 해상도를 실현하였고 저비용 패키징에 적합하고 완전히 집적된 비용에 대해 효율적인 신뢰성있고 튼튼한 용량형 압력센서를 생산하는데에도 적합하다. 정밀한 고도 측정, 마이크로웨더스테이션 그리고 자동차등에 응용이 늘어날 것으로 기대가 된다.종래의 다른것들과 비교해서 해상도가 높다.비용에 대해 효율적이다.신뢰성 있고 튼튼한 capacitive pressure 센서를 생산한다.