일반기술

청색 수직 공동면 발광 레이저

반도체 레이저는 획기적인 정보 전송 또는 저장 기술이다. 더 높은 통신 전송율, 대량의 데이터 저장 장치 그리고 모든 색상 디스플레이를 위해, 청색 발광과 같은 더 높은 주파수 반도체 레이저의 개발이 요구되고 있다. 그러나, 이와 같은 레이저에 대한 기술 개발은 기술적 어려움 때문에 제한점이 많다. 본 기술은 시각적으로 녹색과 청색 지역에서 발광하는 III-질화물 그룹에 기초한 고 효율의 VCSEL (vertical-cavity surface-emitting lasers)에 대한 구조와 제조 방법을 개발한 기술이다. 본 기술은 저가의 웨이퍼 생산 기술에 적합하다. 본 기술은 기존 기술에 비해 더 낮은 동작 전압을 가지면서도 효율은 향상되었다. 본 기술의 잇점 중의 하나는 거울 안에서 전위 장벽이 속박되기 때문에 VCSEL을 가로질러 더 낮은 시리얼 전압이 제공된다. 이와 같이 시리얼 전압이 제공되면, 전력소비는 줄어들고, 레이저 내의 열발생으로 인한 부수적인 효율이 증가하게 된다. 또 하나의 잇점은 우수한 전류 제한과 낮은 광학적 손실이다. 한편 본 기술은 최적의 효율을 나타내기 위하여 두가지 형태의 VCSEL을 개발하였다. 전기적으로 주입된 VCSEL : 본 기술은 장치의 활동층에 근접한 레이저 구멍 안에 접촉점을 둠으로써 효율을 높였다. 이와 같이 하면, 장치에서 저항이나 다른 전계 때문에 전자 손실의 가능성을 줄일 수 있다. 이런 접촉점은 VCSEL 출력 주파수에 있어서는 투명하다. 또한, 공기-갭 틈새를 만들기 위하여 선택적으로 애칭이 필요하게 된다. 이와 같이 하므로써, 광학적 손실을 줄이고 큰 면적의 접촉점을 가진 작은 측면 지역에 대해 전류를 제한하게 된다. 본 기술의 제조 물질과 방법은 상이한 온도 팽창 때문에 물질의 쪼개짐을 억제한다. 전자빔이 주입된 VCSEL : 본 기술의 레이저는 내부적인 전계-발광 전자 소스 또는 외부적인 전자 빔에 의하여 가동될 수 있고 높은 강도와 우수한 열-저하 특성을 가진 간단한 제조 특성으로서 특징지을 수 있다. 구멍 내부에 전계-발광 전자 소스의 제조는 거울을 통한 주입 전자를 전송하는 단계를 생략할 수 있다. 따라서, 전송 단계에서 발생하는 손실을 줄일 수 있게 된다.데이터 전송, 저장용 레이저 개발 기술기존 기술의 문제점인 청색 발광의 문제 해결최적의 효율을 나타내기 위하여 전기적으로 주입된 VCSEL과 전자빔이 주입된 VCSEL 두가지 형태의 장치 제