일반기술

갈륨 질화물과 다른 비큐빅 물질들로 제조된 레이저용 절개면

(In, Ga, Al)N 물질 시스템에 기초한 평면 레이저의 제조는 데이터 저장과 여가가지 시각적 광 응용장치의 발전에 크게 기여한다. 그러나, 현재의 기술들은 평면 반도체 레이저용 거울을 만들 수 없다는 단점을 가지고 있다. 본 기술은 갈륨-질화물과 다른 비큐빅 물질에서 절개면 거울을 만들기 위하여 시각적인 기술을 개발하였다. 본 기술의 원리는 비큐빅 기질 위에 에피탁시 하게 성장된 금속 질화물 처럼, 비큐빅 물질의 층에서 큐빅 평면을 따라 쪼개진 작은면을 제조한 것이다. 이와 같은 과정을 거쳐 최종적으로, 광학적으로 평평한 큐빅 반사 평면이 비큐빅 기질 위에 에피탁시 하게 성장된 층에 대해 수직적으로 제조된다. 한편, 비큐빅 기질 위에 에피탁시 하게 층을 성장시키는 것은 먼저, 비큐빅 기질 위에 완충층에 에피탁시 하게 성장시킨 후, 비큐빅층에 장치층을 성장시키게 된다. 비큐빅 기질 위에 층을 에피탁시 하게 성장시키는 것은 예로서, 사파이어 위에 GaN을 에피탁시하게 성장시키는 것을 포함한다. 본 기술은 GaN 레이져 제조 기술이 빠르게 발전할 수 있고, 대량 생산의 가능성을 제시하였다. 그리고 본 기술은GaN 레이저의 저항을 줄이고, 홀 주입 효율을 증가시키는 잇점이 있다. 한편, 질화물 레이저는 높은 온도에 잘 견디고 장수명의 특성을 가지고 있어 내구성이 중요시되는 응용 장치에 적합하다. 또한, In/GaN 물질은 모든 시각적 스펙트럼을 포함하는 넓은 스펙트럼 영역을 가지면서 새로운 디스플레이용으로 사용될 수 있는 가능성을 나타낸다. 본 기술은 GaN, 사파이어 그리고 ZnOdhk 같은 비큐빅 물질에서 평행의 절개면을 만들 수 있으며 다양한 파장의 레이저와 집적 회로 등의 여러 가지 장치에 적용할 수 있다. 본 기술은 레이저와 쌍극자 트랜지스터 같은 장치에서 중요한 홀 밀도를 크게 증가시키는 장점도 가지고 있다. 기존 레이져 재료들의 문제점들은 질화물 재료를 사용하므로써 많은 문제점들을 해결할 수 있고, 청색이나 자외선 평면 레이져 시장에서 각광을 받을 것이다.레이저용 거울 제조 가능홀 주입 밀도가 크게 증가모든 색을 낼 수 있는 스펙트럼 영역 포함높은 온도에 잘 견디고 수명이 길다.대량 생산이 가능