일반기술
ChemMap 프로그램
본 기술은 영상 탐지자를 이용하여 기존의 기술에 비해 15,000배나 빠르게 이차원 표면을 분석할 수 있다. 본 기술의 ChemMap 프로그램은 먼저 영상 탐지자를 통해 얻은 공간적으로 분석된 분광학적 정보로부터 일차원적인 화학 구성요소를 빠르게 계산한 후, 계산된 일차원적인 윤곽으로부터 만들어진 샘플에 대하여 이차원적인 화학 구성요소의 지도로 바꾸게 된다. 기존 기술이 화학적 구성요소에 대해 최종 분석까지 11시간이 걸리는 것에 비해 본 기술은 10분 정도의 짧은 시간 내에 화학적 지도를 그려낼 수 있다. 또한, 일반적으로 많이 사용되고 있는 IBM PC에서 사용할 수 있고, 운영 방법이 편리하다는 장점을 가지고 있다. 그리고, 데이터를 저장하기 위하여 40kB 정도의 작은 용량으로도 가능하고, 현재 사용되고 있는 전류 영상 탐지자 장치를 보충 할 수 있다. 본 기술은 일차원적 데이터를 가지고 이차원적 입체를 그릴 수 있기 때문에 반도체나 박막 필름 등과 같은 다양한 물질의 제조 공정에 사용할 수 있다.10분 정도의 짧은 시간에 데이터 수집40kB의 작은 데이터 저장 용량 필요IBM PC에서 운용 가능
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 반도체
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-01-27
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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