일반기술

동적 마스크 투사를 이용한 스테레오 마이크로 리소그래피

MEMS와 광학 장치들은 에어백, 화학적 센서, 생물학적 센서와 같은 다양한 센서분야에서 응용된다. 완전한 능동소자 MEMS를 만들기 위하여, 마이크로 엑츄에이터는 감지와 동작이 가능한 지능형 마이크로 시스템을 만들도록 개발되어야 한다. 그러나, 현재 MEMS 장치를 만들기 위하여 사용되는 IC 기반의 마이크로 기계화 과정은 이와 같은 목표를 성취하는데 많은 한계점을 가지고 있다. 대부분의 IC 기반 마이크로 기계화 과정은 높은 화면비를 가진 복잡한 3차원 마이크로 부품 생산이 불가능하다. 단지 몇 개의 반도체와 다른 물질들만 이와 같은 방법으로 제조될 수 있을 뿐이다. 또한, 이와 같은 방법은 스마트 세라믹, 기능성 고분자 그리고 금속 합금처럼 다른 중요한 공학적 물질들과 융합을 이루지 못한다. 이와 같은 기술에 대한 대안으로서 X선 LIGA와 마이크로 스테레오리소그래피 등이 있으나, 이 기술들은 산업에 적용하기 힘들고, 동작 비용, 제한된 분해능 그리고 제한된 대비 등의 단점이 있다. 본 기술은 3차원 마이크로 또는 나노구조를 만들기 위한 마이크로 스테레오리소그래피를 이용한 기술이다. 본 기술은 금속, 세라믹, 반도체와 같은 많은 물질로부터 3차원 구조를 만들기 위하여 동적 마스크를 사용하였다.복잡한 3차원의 마이크로 또는 나노 구조의 제조 가능다중의 마스크가 필요 없음활동성 마스크 사용