일반기술
미소질량을 이용한 습도센서 제작기술
저습 영역에서 습도계측을 위해서는 고가의 장비가 필요하다. 본 기술은 1 ng/cm2 의 질량 감도를 갖는 진동자를 이용하여 저습 영역에서 저렴한 비용으로 습도측정이 가능한 저습센서를 설계 제작하는 기술이다. 기존의 광학식 및 박막식 저습센서에 비해 저비용으로 고감도의 습도측정이 가능하며 원거리 상시 모니터용으로도 사용이 가능하다기존의 광학식 및 박막식 저습센서에 비해 저비용으로 고감도의 습도측정이 가능하다. 또한 측정 모듈 자체의 생산단가의 인하로 원거리 상시 모니터용으로의 활용이 가능하다. 목적에 따라 자체 히터, 온도센서의 부착으로 활용도를 높이고 이중센서의 사용으로 필요한 만큼 불확도를 낮출 수도 있다.- 화학공정에서 수분 침투여부를 모니터하는 공정에 활용 가능함.- 정밀 전자부품, 광학부품 조립시 수분 흡탈착 여부를 판별하는 공정에 활용 가능함.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 계측기기
- 보유기관
- 한국표준과학연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-01-03
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.