일반기술
고감응 rms 설계 제작기술(열전센서 제작기술)
본 기술은 마이크로머시닝으로 제작된 열차단 구조(membrane)와 열전대(thermocouple)쌍을 이용하여 열에너지의 변화를 전압 변화로 감지할 수 있는 센서를 제작하는 기술이다. 마이크로머시닝으로 제작된 membrane을 열차단막으로 사용하기 때문에 복사를 통한 열손실을 제외한 대부분의 열에너지를 이용할 수 있어서 감응도(responsivity)가 매우 큰 우수한 센서를 만들 수 있고, IC 제작공정과 호환성이 있어 대량생산이 가능하며 가격이 저렴하다.→측정표준 및 계측기산업 교류 실효치 측정용 rms 컨버터, 전력 표준용 TVC 등→계측센서산업 유량센서, 적외선센서 등
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
- 보유기관
- 한국표준과학연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-01-03
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.