일반기술
Thermal Desorption Spectroscopy를 이용한 기체 흡탈착 측정 및 공정진단기술
진공계측기나 질량분석기를 사용하여 진공 공정 중에서 생기는 기체의 양과 성분을 분석하는기술이다. 이 기술을 이용하면 진공장치 내에서 기체양의 변화와 기체조성을 극 미량까지 알 수 있고 온도별 시간별 변화 측정이 가능하여 생산성 향상 및 문제의 원인규명 등이 가능하다. 분석기술 중 감도가 가장 좋으며, 질량분석기 사용 시 모든 기체 조성 분석이 가능하고, 분석장치 제작비용이 저렴하고 간단하다.-모니터, 디스플레이,의약품 생산등과 같이 진공배기공정을 이용하는 산업체 공정분석-진공용 부품 및 재료의 특성평가(진공용기, CVD등)-초순수재료, 극고진공재료, 반도체 재료분석, 극미량분석-진공중에서 가열하는 공정(모니터, 랩프등)
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 계측기기
- 보유기관
- 한국표준과학연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-01-03
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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