일반기술

서보 가속도계 설계 제작기술

힘평형 서보 가속도계는 DC부터 수백Hz의 저주파진동을 고정밀로 측정할 수 있는 진동센서로서 closed-loop feedback 측정시스템이므로 여타 진동변환기에 비해 정밀도, 안정도, 재현성 등이 우수하다. 대형구조물의 안전성진단을 위한 동적 거동 모니터링시스템 개발이나 정밀저주파 진동제어가 필요한 반도체 제조설비나 정밀 기계의 제어등에 필수적이다. closed-loop feedback 시스템으로 정밀도,안정도,재현성이 우수하다.- 국가기간시설물의 안전성 평가를 위한 저주파 진동측정 : 교량등 대형 국가기간시설물의 동적 거동 파악을 통하여 안전성 진단 및 내구성 평가가 가능하며, 국가기간시설물 유지·관리의 신뢰성을 제고할 수 있음.- 반도체 및 정밀 기계가공 : 저주파 진동 제어를 통해 가공정밀도 향상하는데 활용할 수 있음.- 초정밀 측정 : 저주파 진동 제어를 통해 전자현미경 등 초정밀 측정장비의 측정정밀도를 보장할 수 있음.