일반기술
수은주 레벨 초정밀측정 기술
본 기술은 cross capacitance 측정원리를 적용하여 수은주 액면의 높이를 sub micrometer까지 측정할 수 있는 기술이다. Thompson-Lampard 정전기 이론을 이용한 cross capacitor는 탁월한 안정도, 재현성을 지니고 있기 때문에 전기용량의 절대측정장치에 적용하여 사용되고 기술이다. 이 기술을 수은압력계에 적용하면 중간 압력범위에서 수십 ppm 수준으로 압력측정이 가능하다.본 기술은 cross capacitance 측정원리를 적용하여 수은주의 레벨을 sub micrometer까지 측정할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
- 보유기관
- 한국표준과학연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2003-01-03
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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